步驟1、干冰顆粒在高壓氣流中加速，以接近音速的速度沖擊待清洗表面，在沖擊瞬間氣化，干冰的動量在沖擊瞬間消失，干冰顆粒與清洗表面間迅速發生熱傳遞，致使固體CO2迅速升華變為氣體。
步驟2、由于溫差能破壞不同熱膨脹系數的材料結合，干冰顆粒（-78.5℃）沖擊被清洗表面，使污垢冷凍脆化和爆裂，產生“龜裂”，影響了粘附污垢的機械性能。
步驟3、干冰顆粒沖擊污垢間裂縫，在千分之幾秒內體積膨脹近800倍，形成無數“微型爆炸”，將污垢剝離表面。同時加上干冰顆粒的磨削和沖擊、壓縮空氣吹掃剪切，使污垢從被清洗表面以固態形式被剝離，從而達到了清除目的。由于CO2揮發，干冰清洗過程中沒有產生任何二次廢物，留下需要清理的只是清除下來的污垢。

干冰清洗系統圖 

 第一部分是干冰制備系統：將液態CO2制作成一定規格的干冰顆粒或干冰塊；
 第二部分是干冰噴射清洗系統：在清洗設備內裝入已制作好的干冰顆粒或干冰塊，在壓縮空氣的驅動下，高密度干冰顆粒隨著壓縮空氣沖擊到被清洗物體表面，從而起到清洗作用。
干冰清洗的顯著優勢